Мокшин П.В.
СИНТЕЗ КРЕМНИЕВЫХ НИТЕВИДНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ С ПОМОЩЬЮ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ПРИЛОЖЕНИЙ ФОТОВОЛЬТАИКИ *
Аннотация:
в данной статье рассматривается один из способов создания нитевидных нанокристаллов а так же предоставляются данные о наличии нанокристаллов на образце после процесса плазмохимического травления
Ключевые слова:
плазмохимия, травление, нанокристалл, Бош-процесс, фотовольтаика, нанооптика, нанопровода
Кремниевые нитевидные нанопровода (SiNW) в настоящее время представляют большой интерес из-за их особых свойств и широкого спектра потенциальных применений в различных областях науки и техники [1]. Существуют разные способы получения конической или пикообразной структуры (SiNW) на поверхности кремниевой подложки. Бош-процесс [2] - это циклический процесс, состоящий из двух этапов – травления и пассивации, в результате очередности которых возникает искомая структура. В настоящей работе в качестве образцов использовались кремниевые подложки, предварительно очищенные плавиковой кислотой. Они плотно закреплялись на подставке установки плазмохимического травления ЭТНА-100-ПТ (НТ-МДТ, г. Зеленоград). После создания вакуума в камере установки двумя насосами, было выполнено 20 циклов Бош-процесса. Наличие необходимых структур в конечном образце визуально можно определить по цвету. На Рисунке 1 приведены результаты исследования полученных структур с помощью сканирующей электронной микроскопии. Таким образом, технология Бош-процесса [2] позволяет формировать кремниевые нанопровода с топологией, близкой к топологии структур, изображенной на Рисунке 1.
Номер журнала Вестник науки №5 (14) том 1
Ссылка для цитирования:
Мокшин П.В. СИНТЕЗ КРЕМНИЕВЫХ НИТЕВИДНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ С ПОМОЩЬЮ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ПРИЛОЖЕНИЙ ФОТОВОЛЬТАИКИ // Вестник науки №5 (14) том 1. С. 80 - 81. 2019 г. ISSN 2712-8849 // Электронный ресурс: https://www.вестник-науки.рф/article/1200 (дата обращения: 26.04.2024 г.)
Вестник науки СМИ ЭЛ № ФС 77 - 84401 © 2019. 16+